半導(dǎo)體行業(yè)物流的AGV小車控制系統(tǒng)是指在物料離線流轉(zhuǎn)過程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和軟件系統(tǒng)，又包括信息自動化和物流設(shè)備自動化兩個部分。信息自動化與工藝步驟的執(zhí)行過程相關(guān)，包括制造執(zhí)行系統(tǒng)（manufacturing execution system, MES）、信息通訊、工藝設(shè)備工作狀態(tài)監(jiān)測（用于工作程序和工藝過程管理）、物料識別和追蹤等等。物流設(shè)備自動化通常和傳統(tǒng)流水線，自動立體庫，AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器，包括如何將其運(yùn)送到工藝設(shè)備端或者在不同的存儲區(qū)域之間進(jìn)行調(diào)度，以及晶片在工藝設(shè)備內(nèi)部的傳送（包括物料緩沖區(qū)，裝載端口，晶片傳送機(jī)械手臂等）。

從整個工廠的角度來看，許多設(shè)備內(nèi)部的自動化晶片傳送部件也可以被定義為信息自動化系統(tǒng)中設(shè)備控制和管理功能的一部分。除了WIP自動傳送外，AGV傳送自動化也是傳送系統(tǒng)自動化的一項(xiàng)內(nèi)容，它已成為現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動化系統(tǒng)中較大的單項(xiàng)投資項(xiàng)目。通過過去幾年的經(jīng)驗(yàn)顯示信息自動化可以大大推動產(chǎn)品成品率的提高，因?yàn)樾畔⒆詣踊梢源蟠筇岣咴O(shè)備管理水平、進(jìn)行工藝數(shù)據(jù)收集和統(tǒng)計(jì)工藝控制、保證物流控制更加順利，同時還可以提高物料送達(dá)的準(zhǔn)確率，從而減少誤操作和返工現(xiàn)象。此外，信息自動化還可以改善WIP的直觀監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)實(shí)時調(diào)度AGV及人員，提高生產(chǎn)速度。經(jīng)驗(yàn)證明對物流信息自動化進(jìn)行投資可以增加附加價值。

過去，物流自動化的作用在于保證工藝設(shè)備有事可做，維持足夠的WIP流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區(qū)域，通常采用人工傳送和存儲WIP的運(yùn)作模式。Intrabay更加復(fù)雜的傳送和存儲則通過操作工人按照信息自動化系統(tǒng)的指示來完成，從而在合適的時間將合適的WIP傳送到合適的設(shè)備上。現(xiàn)在一部分半導(dǎo)體企業(yè)已經(jīng)啟用有提供的AGV物流系統(tǒng)自動化取代了操作工人的長距離搬送。

人工WIP處理已經(jīng)被AGV自動化傳送系統(tǒng)所取代，包括所有工藝設(shè)備之間的傳送、存儲和分發(fā)。AGV中控系統(tǒng)主要用于滿足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外，可以通過AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送路線進(jìn)行優(yōu)化?，F(xiàn)在的的AGV系統(tǒng)已經(jīng)從上一代“下一道工藝步驟”響應(yīng)系統(tǒng)發(fā)展到較大程度減少設(shè)備空閑時間、提高生產(chǎn)速度、縮短生產(chǎn)周期和實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)目標(biāo)的先進(jìn)系統(tǒng)。